서보모터수리 서보드라이버 수리 전문 산업용장비 반도체로봇 및 판매 전문기업
서보시스텍
안녕하세요. 산업용 자동화 장비 및 정밀 서보 시스템 전문 수리 기업 서보시스텍입니다.
오늘 소개해 드릴 수리 사례는 반도체 공정 등에서 정밀한 웨이퍼 정렬을 담당하는
아이젤(ISEL) ALIGNER
모델명: LPA312-3-V40P2-S27-S-V500P-ESI01 장비입니다.
"레이저 마킹 작업 시 위치 편차가 발생하며 알람이 뜬다"는 증상으로 저희 서보시스텍에 긴급 입고되었습니다.
🔍 1. 입고 검사 및 정밀 진단 (반복성 구동 테스트)
장비가 입고된 후, 증상을 정확히 파악하기 위해 최우선으로 반복성 구동 테스트를 진행했습니다.
이전 동일 모델 선행 수리 건의 데이터와 비교해 가며 꼼꼼히 매커니즘을 분석한 결과,
이번 장비는 선행 건보다 위치 편차가 발생하는 빈도가 훨씬 더 잦은 것을 확인할 수 있었습니다.
🛠️ 2. 문제 원인 파악 및 물리적 포인트 점검
가동 범위 내부의 물리적인 구동 파트를 하나하나 정밀 점검하였습니다.
예상대로 스테이지의 핵심 구동부인 볼스크류 구동 축(Ball Screw Drive Axis) 쪽에 문제점이 발견되었습니다.
지속적인 구동으로 인해 유격이 발생했거나 마모, 혹은 정렬 불량으로 인해 마킹 시 미세한 위치 탈조를 유발했던 상황이었습니다.
🔧 3. 분해, 세척 및 정밀 조치 작업
문제가 된 볼스크류 구동 축 파트를 신속하게 분해하여 내부 상태를 교정하고 부품 조치를 진행했습니다.
미세한 오차도 허용하지 않는 웨이퍼 어라이너 장비 특성에 맞춰 정밀하게 재조립 및 셋팅을 완료했습니다.
✅ 4. 최종 구동 테스트 및 완료
조치 완료 후 다시 한번 반복 구동 테스트를 거쳐 위치 편차 알람이 완벽하게 사라진 것을 확인했습니다.
부드럽고 정확하게 정렬되는 구동 영상까지 정상적으로 촬영하여 고객님께 피드백을 드렸으며, 안전하게 출고를 도와드렸습니다.
구동 테스트 영상
테스트 영상이 궁금하시다면❗
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서보시스텍은 아이젤(isel)을 비롯한 다양한 제조사의 웨이퍼 어라이너(Aligner) 및 정밀 스테이지 수리 노하우를 보유하고 있습니다. 미세한 위치 에러, 구동 소음, 알람 발생 등 장비에 문제가 있다면 언제든 편하게 문의해 주시기 바랍니다.
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