ISEL WAFER ALIGNER LPA312-3-V40V2-S27-S-V500V-ESI01 수리 후기 : 위치값 편차 불량 및 구동부 중간 걸림 현상 조치 (LPA312시리즈)

 

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안녕하세요

산업용 서보모터 및 로봇 시스템 정밀 수리 전문 기업 서보시스텍입니다.

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오늘은 반도체 공정 등에서 정밀한 웨이퍼 정렬을 담당하는 핵심 장비

ISEL 사의 Wafer Aligner(웨이퍼 얼라이너) 수리 완료 후기를 소개해 드립니다.

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[장비 정보]

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제조사: ISEL

모델명: LPA312-3-V40V2-S27-S-V500V-ESI01

 

 

 

🔍 1. 입고 및 증상 파악

 

고객사로부터 "구동 중 비정기적으로 웨이퍼 위치 편차 오류(에러)가 발생한다"는 내용으로 수리 의뢰를 접수받았습니다.

얼라이너 장비 특성상 아주 미세한 오차도 전체 공정의 수율에 치명적인 영향을 미칠 수 있기 때문에,

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원인을 정확히 특정하기 위한 정밀 테스트를 먼저 진행했습니다.

 

 

 

🛠️ 2. 정밀 진단 및 시뮬레이션

 

장비에 전용 구동 코드를 입력하여 6시간 이상의 장시간 반복 구동 테스트를 실시했습니다.

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그 결과, 특정 구간에서 간헐적(비정기적)으로 위치값 편차가 크게 벌어지는 비정상 구간을 명확하게 포착해 낼 수 있었습니다.

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반복 구동 중 에러가 발생하는 메커니즘을 확인한 후,

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곧바로 내부 분해 점검에 착수했습니다.

 

 

⚙️ 3. 내부 분해 및 원인 분석 (오버홀)

 

ISEL 얼라이너 내부 구조를 살펴보면, 정밀 모터 구동부와 동력을 제어 및 생성하여 전달하는 드라이버(Driver) 부가 상하/좌우로 치밀하게 나뉘어 구성되어 있습니다.

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각 파트를 면밀히 점검한 결과,

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정밀 직선 운동을 담당하는 볼스크류(Ball Screw) 구동 축 중간에서 미세하게 걸리는 포인트(저항 현상)를 확인했습니다.

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이 걸림 현상으로 인해 서보 모터가 순간적인 부하를 받거나 탈조/위치 오차가 발생했던 것이 원인이었습니다.

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문제를 해결하기 위해 구동 파트 전체를 완전히 탈거하여 내부 세척, 이물질 제거, 그리스 재도포 및 정밀 정렬을 포함한 전면적인 분해 오버홀(Overhaul) 작업을 진행하였습니다.

 

4. 수리 완료 및 최종 구동 테스트

 

수리 및 오버홀을 마친 후,

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다시 한 번 장시간 시뮬레이션을 통해 걸림 현상이 완벽히 사라지고 위치 편차가 제로(0)에 수렴하는 것을 확인하였습니다.

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아래 영상은 수리 완료 후 출고 전 단계에서 부드럽고 정확하게 구동되는 얼라이너의 테스트 모습입니다.

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서보시스텍은 국내외 다양한 메커니즘의 얼라이너, 서보모터, 로봇 시스템을 오랜 노하우로 정확하게 진단하고 수리합니다.

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동일한 위치 에러나 구동 불량으로 장비 정비가 필요하시다면 언제든 편하게 문의해 주시기 바랍니다.

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• 문의전화: 010-5636-4346 / 070-4135-4346
• 이메일: purelove4346@nate.com

 

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🔽얼라이너 수리 테스트 영상🔽

테스트 영상이 궁금하시다면❗

👇👇👇

https://youtu.be/iLBIRVy1zQQ

 

 

더 자세한 수리진행 알고 싶다면❓❔

https://www.youtube.com/channel/UC9RWup1jofWbw1p7k7S5yKA

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