ISEL ALIGNER LPA312-3 수리 – 웨이퍼 Prealigner 정렬 불량 복구

 

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산업 현장에서 정밀한 위치 정렬을 담당하는 ISEL ALIGNER LPA312-3-V40V2-S27-S-V500V-ESI01은 장비 특성상 미세 오차에도 생산 품질에 큰 영향을 줄 수 있습니다.

이번 작업은 현장에서 발생한 얼라이너 동작 불안정 증상을 점검하고, 원인 분석 후 안정적인 구동이 가능하도록 조치한 사례입니다.

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먼저 ALIGNER는 자동화 로봇(X/Y/Z 이송 로봇)과 함께 사용되며, 웨이퍼를 픽업하기 전 정확한 위치/각도를 맞춰주는 역할을 수행합니다.

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📌이 장비는 주로 다음과 같은 공정에서 사용됩니다

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▶자동 웨이퍼 로딩/언로딩 시스템

▶반도체 노광/식각 장비 전 위치 설정

▶로봇 기반 제조 라인 정렬 단계

▶클린룸 생산시 조립 품질 향상

 

수리 전 / 수리 후

 

해당 ISEL ALIGNER LPA312-3 시리즈는 고정밀 정렬을 요구하는 공정에 사용되는 장비로, 전원부(V500V), 제어 신호, 내부 모듈 상태에 따라 다양한 이상 증상이 발생할 수 있습니다.

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본 장비는

▶위치 반복 오차 발생

▶초기 구동 시 반응 지연

▶정렬값 편차 증가

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와 같은 증상이 확인되어, 전반적인 상태 점검 및 주요 부품 검사를 진행하였습니다.

 

 

전원부 출력이 불안정하고 기구부의 전반적으로 윤활 상태가 나쁩니다.

우선 전원부를 오버홀 작업해 주었습니다.

기구부도 클리닝 후 진공 구리스를 도포해 줍니다.

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TEST 프로그램 제작 후 확인 작업

 

Windows11 운영체제 환경에서 테스트를 하기 위해서, Microsoft Visual Studio의 C#으로 간단한 프로그램을 제작하였습니다.

임의로 웨이퍼의 위치를 이동 후, 정렬 작업을 실시하여 정렬된 센서 값과 레이저 변위센서의 값을 확인 후 수리를 마칩니다.

 

 

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⚠ 테스트 확인

 

 

테스트 영상이 궁금하시다면❗

👇👇👇

 

 

 

ISEL ALIGNER LPA312-3 REPAIR – Prealigner TEST