


이번에 수리한 모델은 ASYST MECS ROBOT UTW-FS5500
ASYST WAFER TRANSPOT ROBOT CONTROL UNIT CS-7101입니다.
웨이퍼 이송 Dual ARM 로봇과 로봇 컨트롤러입니다.


로봇은 입고 시 4축 모든 축이 뻑뻑하게 움직이고 컨트롤러 구동시 과부하 에러가 발생하였습니다.
모터를 모두 분해를 해 보니 사진과 같이 로터와 브레이크에 많은 슬러지와 오염이 발생했습니다.




일부 모터는 로터 크랙까지 발생을 했습니다.
모터는 모두 수리를 해 주었습니다.
내부의 구동부도 오염이 심해서 크리닝후 전용 구리스를 도포해 주었습니다.
수리 후 구동 테스트는 아주 부드럽습니다.




이 컨트롤러의 로봇은 ARM X, ARM A, 쎄타, Z축 등 4축을 구동하는 로봇 컨트롤러입니다.
범용 서보 앰프 4개와 전용 컨트롤러로 구성이 되어 있고 입력 전원은 AC 110V입니다.




점검을 해보니 서보 앰프가 모두 불량입니다.
하나하나 점검해 보니 오랜 사용으로 파워 출력 소자 등이 불량이라서 모두 교체를 해 주고 주기성 부품도 교체를 해 주었습니다.
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