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이번에 수리한 모델은 JEL ROBOT입니다.
이 모델의 품번은 SVHR3258-040-PM-02911입니다.
이 로봇은 진공 환경용 웨이퍼 이송 로봇입니다.
Z스트록은 40mm정도이고 X,T,Z 3축 2상스태핑모터에 엔코더가 장착되어 있습니다.
전체적인 점검 및 수리를 진행하였습니다.
우선 마그네트씰의 리크 테스트를 위해서 헬륨 디텍터로 진공도 및 리크 테스트를 하였습니다.
엔코더와 하네스 케이블 등의 문제점을 수리해 주고 반복 정밀도 신뢰성 테스트와 진동 테스트 등을 마치고 출고합니다.
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