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서보시스텍
반도체 Cluster Tool의 핵심, Brooks MAGNATRAN 7 (LAM ALLIANCE 200MM) 진공 로봇 수리 사례를 공유합니다.
본 장비는 Transfer Module(TM) 내에서 웨이퍼를 각 챔버로 이송하는 중추적인 역할을 수행합니다.
생산 현장의 장기 가동으로 인해 발생한 기구적 부하와 전원부 노후화를 해결하기 위해 다음과 같은 정밀 솔루션을 진행했습니다.
- 주기성 소모품 교체: 전원부(Power Supply) 및 수명이 다한 주기성 부품을 신품으로 교체하여 급작스러운 다운타임을 방지했습니다.
- 기구부 정밀 크리닝 & 윤활: 내부 분진 제거 및 크리닝 후, 특수 진공 윤활제 도포를 통해 마찰 계수를 최소화했습니다. 이를 통해 구동 부하를 줄이고 로봇의 수명을 연장했습니다.
- 최종 검증: 수리 후 엄격한 시험 구동을 통해 이송 정밀도와 동작 안정성을 확인하였으며, 완벽한 정상 가동 상태로 출고되었습니다.
왜 저희에게 맡겨야 할까요?
오랜 시간 현장에서 쌓인 기구적 부하를 정확히 진단하고, 단순히 고장 난 곳만 고치는 것이 아니라 장비의 전체적인 컨디션을 끌어올립니다.
반도체 로봇 수리 문의는 언제든 환영합니다!
MagnaTran 7 / 7.1, MagnaTran LEAP / LEAP AX,
MagnaTran 8 (ATR8), Marathon 2, Marathon LEAP AX, AcuTran 7 (ATR 7), ATM-104, ATM-405, ABM-407 등
브룩스/PRI 반도체 로봇 수리 가능합니다❤️
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(수리 문의 : 010-5636-4346) (구매 문의 : 070-4136-4346) (E-mail : purelove4346@nate.com) Servo Motor, Servo Driver, Robot, Spindle Repair, Spars parts Sales 서보모터수리, 서보드라이버수리, 로봇수리, 스핀들수리, 스페어파
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