반도체로봇 · 웨이퍼이송로봇 정밀 수리 전문, 헬륨 디텍터 진공 테스트 및 구동 검증까지 완벽 대응!

 

서보모터수리 서보드라이버 수리 전문 산업용장비 반도체로봇 및 판매 전문기업
서보시스텍

 

 

AMAT부터 RORZE까지 구형·단종 로봇 완벽 복원 및 장비 가동률 극대화 솔루션

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안녕하세요.

반도체 및 물류 자동화 설비의 핵심인 산업용 로봇 정밀 수리/리퍼비시(Refurbishment) 전문 기업 서보시스텍 입니다.

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반도체 팹(Fab)이나 자동화 라인에서 로봇에 문제가 발생하면 생산 공정 전체가 멈추고 막대한 손실로 이어지게 됩니다.

특히 부품 수급이 어렵거나 제조사 지원이 끊긴 구형 및 단종 로봇의 경우, 대안을 찾지 못해 애타는 담당자분들이 많으실 텐데요.

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저희는 글로벌 제조사의 다양한 로봇 라인업에 대한 풍부한 수리 레퍼런스를 바탕으로 신속하고 정확한 고장 진단 및 복원 서비스를 제공합니다.

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🛠️ 왜 우리의 로봇 수리 서비스인가요? (차별화된 기술력)

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1. 수리 후 철저한 '구동 테스트' 검증 부품 교체 및 수리 완료 후 철저한 구동 테스트를 거칩니다.

반복 정밀도와 구동 상태를 완벽하게 검증한 후 출고하기 때문에 현장 시운전 시 에러 발생을 최소화합니다.

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2. 최고 수준의 '헬륨 디텍터(Helium Leak Detector)' 진공 테스트 보유 진공 환경에서 작동하는 로봇(IVR, 진공 로더 등)은 미세한 누설(Leak) 하나가 전체 공정 불량을 유발합니다.

저희는 고정밀 헬륨 디텍터 장비를 구축하여 수리 완료 후 완벽한 진공 밀봉 상태를 정밀 테스트합니다.

눈에 보이지 않는 미세 누설까지 잡아내어 현장 투입 후의 안정성을 완벽히 보장합니다.

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3. 단종·구형 및 멀티 액시스(Multi-axis) 로봇 전 프로세스 대응 부품 구하기가 하늘의 별 따기인 단종 모델부터 최신 다축 로봇까지, 오랜 노하우를 가진 엔지니어들이 직접 컴포넌트 레벨까지 정밀 수리를 진행합니다.

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📋 수리 및 대응 가능 로봇 모델 리스트

국내외 현장에서 가장 많이 사용되는 주요 메이커별 대응 가능 모델입니다.

(컨트롤러, 모터, 드라이브 및 Galil 보드류 수리 포함)

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■ AMAT

P-5000, P5000

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■ ASM

A400XT, A400c

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■ BROOKS (BROOKS/PRI, Equipe, EQUIPE TECHNOLOGIES 포함)

001-1570-87, 001-4130-03, 001-7126-01, 002-0016-21, 002-0016-33, 002-1099-02, 002-1110-01, 002-1250-01, 002-1250-11, 002-1250-24, 002-1260-01, 002-1260-11, 002-1260-22, 002-1260-32, 002-1270-11, 002-1270-22, 002-1280-01, 002-1400-01, 002-1400-02, 002-2300-05, 002-5360-11, 002-5885-02, 002-6010-01, 002-6010-02, 002-6200-21, 002-7090-11R, 002-7200-14, 002-7200-21, 002-7391-33, 002-7394-01, 002-7800-07, 002-8090-05, 002-9010-25, 002-9538-02, 003-1110-01, 003-1250-01, 003-1250-11, 003-1250-24, 003-1260-11, 003-1260-24, 003-1260-32, 003-1270-01, 003-1280-02, 003-1280-03, 003-1400-01, 003-1400-02, 003-1400-03, 003-1500-06, 003-2300-01, 003-2415-01, 003-2415-05, 003-3110-01, 003-4620-01, 003-4620-05, 003-4620-12, 003-5180-22, 003-5000-11, 003-6010-05, 003-9300-78, 003-9538-01, 100-1120-01, 100902, 101-1120-02, 101-1120-03, 101376, 103325-01, 104426, 105650-10, 107434, 10800-37, 109473-25, 112450-01, 113540-01, 114175-01, 114600, 115848-01, 124804R, 125430-01, 127000-123, 128430-01, 129430-01, 134520-02, 134520-G1, 134520-G2, 135640-G1, 136740-G1, 138150, 139164, 139170-02, 139750-77, 140392, 140392R, 140510-01, 143668, 145820-01, 145820-02, 145820-G1, 145843, 148300, 148411-01, 148411-G1, 149510-01, 149510-02, 152465, 154230-01, 156320-02, 157320-01, 199630-0001, 0190-40845, 02110-BA24-AJY1, 241251-0007, 2415-0010-01, 2415-0010-02, 2415-0010-03, 2415-0010-04, 4055-1011-02, 4055-1011-03, 4055-1011-01, 408SC, 4610-1011-01, 4610-1011-04, 4610-1011-08, 4610-1011-12, 5180-1200-02, 5180-2400-01, 5180-3200-01, 5180-3200-11, 5200-2015-01, 5200-2015-03, 5200-2415-01, 5200-3200-01, 5200-3200-11, 5501-1010-01, 6-0000-2562-PCR, 6-0002-1621-SP, 6-0002-1627-SP, 701-0401-01, 9538-0010-01, 9538-0010-02, 9538-0010-03, ABM105-1-S/CE, ABM205, ABM405, ABM405-1, ABM407-1-SCE-Z1, ABM407B, ABM/ATM405, ABM/ATM407B, ATM105-1-S/CE, ATM204, ATM-207-2S-CE, ATM-300, ATM405, ATM405-1, ATM-405-1, ATM407B, ATM-407-2, ATM-407-3, ATM-407-1-C-P5, ATM-408, ATM-F1, AquaTran7, AquaTran8, AURIGA, Backbone, Backbone-VTS, BrightLight200, CMX1T15PN2X, COBALTROBOT, CT8-SC, DBM2406, DBM2407, DBM2407V2, DBM2706-V2, DMC-1040-10, DMC-1411-10, DMC-1880, DMC-1880-10, E19013780, E40001182, Equipe300, EQUIPE300-4, EQUIPE400, ESC212-S293, ESC-200B, ESC-202, ESC-205, ESC-206, ESC-207, ESC-300, ESC-400, Escort, Fixload6, Fixload6M, Fix-Load, FixloadV6, FOUP, FROG-LEGCOMPACT, FROG-LEGROBOT, Guardian, In-VacuumRobot(IVR), JETROBOT, loadport, MGA7, MGA9, MAG, MAGLEAP, MagnaTran5, Magnatran6, MagnaTran60, MagnaTran7F, MagnaTran7.1, MAGNATRAN7.2, MAGNATRAN7.5, MagnaTran70, MagnaTran7Leap, MAGNATRAN7REVOLUTION, MagnaTran8, MagnaTran10, MagnaTranLEAP, MagnaTranLEAPCompact, Magnatran002-0016-23, Magnatran201600-201-0002, MagnatranMAG7, Magnatron7, Magnatran80190-25838, Marathon2, MARATHONLEAP, MPO-1000, MTR-5, MTR-6, MTR-7, MTR-7/2L, MTR-8, MTR8-2L-2200-11, MULTI-LINKMAGNATRAN, MX600, PAVP6, PRE200, PRE-200-CE, PRE300, PRE-300/300BU, PRE301, PRE-350B-INT-CE-S2, PRECISEFLEX3400, PRECISEFLEXDD40, PRECISEROVER, PRI-EQUIPE320, PRITracK, Reliance, RS100, SORTERMTX2000, MTX2000, Ultrasort408, VAC407, VAC-409, VACUUMLOADERVL, Vectran5, VTR-5, V6M013096-057-20, Z-Bot4, PreciseFlex100, PreciseFlex300, PreciseFlex400, PreciseFlex1300, PreciseFlex3300, PreciseFlex400-400, PreciseFlex400-750, PreciseFlex400-1160, PreciseFlex3400-400, PreciseFlex3400-750, PreciseFlex3400-1160, PreciseFlexc3-400, PreciseFlexc3-750, PreciseFlexc3-1160, PreciseFlexc3x-400, PreciseFlexc3x-750, PreciseFlexc3x-1160, PreciseFlexc5-400, PreciseFlexc5-750, PreciseFlexc5-1160, PreciseFlexc8A-500, PreciseFlexc8A-1000, PreciseFlexc8A-1420, PreciseFlexc10-500, PreciseFlexc10-1000, PreciseFlexc10-1420, PreciseFlexDD4-axis500, PreciseFlexDD4-axis1000, PreciseFlexDD4-axis1420, PreciseFlex500, PreciseFlex1000, PreciseFlex1420, c3-400, c3-750, c3-1160, c3x-400, c3x-750, c3x-1160, c5-400, c5-750, c5-1160, c8A-500, c8A-1000, c8A-1420, c10-500, c10-1000, c10-1420

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■ GALIL

DMC-610, DMC-8240

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■ GENMARK

2LA0398411, 2LA0799805, 2LA100026, 2LE080004, 2L8090309, 2LV080018, 3L7069962, 4PS070003, 4PS070003(GENCOBOT2LA100026), 4S00799360, 4S01099402, 4S0604296, 4S0604304, 4S1100039, 7S/3L, 2200001, 5064340, 860213003, 860214001, 950180805, 95033E0021, 980010008, 9800106221, 9800106281, 9800106571, 9800106661, 9800106811, 980010700, 9800107021, 9800107061, 9800107161, 9800107211, 98001661A1, 980140204, 990010700, 9900106611, 9961036, ARM-GENIVEA70315292000, AVRSMV3000, E0021, E0142, E0191, E0201, E0219, E0220, E0257, EVTMHS, G4B, GB1, GB1E, GB1-REG, GB4Classic, GB4-CTR, GB7-2L, GB7-3L, GB7S/3L, GB8/3L, GB8-MT, GB8-MT-80020106, GB8-MT-80020650, GB8-MT-80040226, GB8-MT-80040670, GB8-MT-80050481, GB8-MT-80080659, GB8-MT-80090334, GB8-MT-80100543, GB8-MT-98030074, GB9, GENCOBOT3/4L, GENCOBOT4-3L, GENCOBOT4/2L, GENCOBOT4/3L, Gencobot4Classic, GENCOBOT7-3L, GENCOBOT7/2L, Gencobot7/2L-8, GENCOBOT7S/2L-8, Gencobot7s/3L, Gencobot8-2L, Gencobot8/3L, GENCOBOTGB3, GENCOBOTGB4, GENCOBOTGB4P, GENCOBOTGB4S, GENCOBOTGB8-3L, Gencobot4S, Gencobot4S0500457, Gencobot4S0703167, GPR7S/3L, GPR8/3L, GPRGB9, GPRSMV, GPR-MT8, GPR-MT-2000, L08RPEVer.21, L86R/PVer.21, LS-421E-1001, LS-421-2050, LS-421-2061, LS-421-2183E, MC21.17.0689, PA4110413, RP0041111, RP060002, RP099992, S08R, S08R.11, S08RE, S08R5GP, GENMARK95033E002

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■ IDE / ADEPT

ROBOT0125-0031, 10332-22000Rev.A, Adept030, Adept10332-00710, Adept10332-00714, Adept10332-44710, Adept10332-48712, AdeptMV-10

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■ ISEL

IWH-TA10, IW-TA13S14

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■ KAWASAKI

NS410

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■ KLA

Phoenix3.0, KTWT, KTPA

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■ LEP / LUDL ELECTRONIC

99A236, 99A036-EX

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■ LOGOSOL

LPA312, LPA812, 6912DSP, 9344, MC-11-2050, MC-21.DSP

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■ M.C.S.I

IND-88-4

​

■ MECS

CS7100, OFH100(A), OFH100A, OFH-4002-021, UTC-1, UTC-8, UTC-103HG, UTC-121P, UTC-801P, UTC-821, UTC-842Z, UTW-F2120HG, UTX-1000, UTX-1000P, UTX-1000(P), UTX-1002, UTX-1002P, UTX-1002(P), UTX-1100P, UTX-1100(P), UTX-1110, UTX-1110P, UTX-1110(P), UTX-1210, UTX-1220, UTX-F1000HG, UTX-F5500P, UTX-F5500(P), UTX-FS6000

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■ MILARA

H1, H4, H5

​

■ MITSUBISHI

CR1B-571, CR2A-572, CR-E116, RV-3SJ, RV-4FLM, RV-5AJ, RV-E4J-ST

​

■ PRI

4000, ABM100, ABM200, ABM205-1-S/CE, ABM300, ABM400, ABM405-1-S/CE, ABM407-1-S/CE, ABM107-1-S/CE, ATM100, ATM200, ATM205-1-S/CE, ATM105-2-S/CE-293, ATM300, ATM305-1-S/CE, ATM400, ATM405-1-S/CE, ATM407-1-S/CE, ATM407-1-CE, ATM500, ABM500, DBM2706, ESC201, ESC204, ESC210, ESC218T, PRE200, PRE200B, PRE201, PRE201B, PRE300B, PRE300BU, PRE301B, PRE301BU, TSB-407, WTM100

​

■ RORZE

C75F-A002, CURR-0635-2, CURR-0638-0, CURR-2643-4, CURR-6919-0, DAS-2000, RA301-512, RA301-812, RA401, RR304L90, RR304L120, RR700L90-Z20, RR700L90-Z30, RR700L120-Z20, RR700L120-Z30, RR700L150-Z20, RR700L150-Z30, RR701L90-Z20-010-616, RR701L90-Z30-011, RR701L120-Z20-123-011, RR701L120-Z30-011, RR701L150-Z20-123-011, RR701L150-Z30-011, RR711L1521-3A3-E11-1, RR713L1521-3A3-E13-1, RR717L1521-3A6-231-2, RR732L1521-3A3-E11-1, RR757

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■ YASKAWA

XU-6180, XU-8910, XU-CM6180A, XU-CM8510, XU-RSM53E0, XU-RSM53E0A

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리스트에 없는 모델도 점검 및 수리 가능 여부를 확인해 드리고 있으니, 장비 에러 및 오작동으로 고민 중이시라면 언제든 편하게 문의해 주시기 바랍니다.

 

 

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