AXCELIS 엑셀리스 반도체로봇 수리완료 : 모터 오버홀 및 헬륨 리크 테스트 (P/N 110122270)

 

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산업용 로봇 및 서보모터 수리 전문 서보시스텍입니다.

오늘 소개해 드릴 작업은 클린룸 내 진공 환경에서 사용되는

 

품명 : AXCELIS ROBOT

모델 : 110122270

 

수리 완료 후기입니다.

이번에 입고된 엑셀리스 인박로봇은 입고 당시부터 타 업체에서 분해를 시도했던 흔적이 매우 많아 점검 시 더욱 주의가 필요했던 건이었습니다.

 

 

🔍 입고 당시 상태 및 문제점 점검

• 타사 분해 흔적 다수 : 결합부 상당수가 이미 분해되어 유실되거나 어긋나 있는 상태였습니다.
• 스틸밴드 파손 : 장비 상단부를 개방해 보니 내부 스틸밴드가 심하게 구부러져 제 기능을 하지 못하고 있었습니다.
• 구동부 소음 : 가동 시 내부에서 삐걱거리는 마찰 소음이 심하게 발생하고 있었습니다.

 

 

🛠️ 주요 수리 및 오버홀 진행 내용

1. 스틸밴드 교체 및 메커니즘 정렬 : 파손되고 구부러진 기존 스틸밴드를 제거하고 새 부품으로 교체한 뒤, 흐트러진 결합부들을 정밀하게 재조립했습니다.
2. R·T·Z축 모터 오버홀 : 본체 구동을 담당하는 R축, T축, Z축 모터 전체를 분해하여 정밀 오버홀(Overhaul)을 진행했습니다.
3. 구동 벨트 점검 : 타이밍벨트로 이루어진 구동부 메커니즘을 점검하고, 장력 조절 및 구동 테스트를 통해 안정성을 확보했습니다.

 

 

🔬 진공 장비의 핵심, '헬륨 디텍터' 최종 검수

진공장비 수리의 핵심은 외관이나 구동뿐만 아니라 '진공도 유지'에 있습니다.

수리를 마친 후, 고정밀 헬륨 디텍터(Helium Leak Detector) 장비를 사용하여 리크(Leak) 테스트를 진행했습니다.

테스트 결과 : 정상 진공도 완벽 측정! 미세하게 새는 곳(Leak) 전혀 없음 확인!

 

 

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테스트 영상이 궁금하시다면❗

👇👇👇

 

 

🎬 수리 완료 후 구동 테스트 (영상)

https://youtu.be/1yvs24bBXqE

 

 

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서보시스텍 로봇 테스트룸이 궁금하다면❓❔

https://servosystec.tistory.com/7

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