DYNAMIC AUTOMATED SYSTEMS(DAS) MERIT MG45 IDE ROBOT ROB300 SERIES

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서보시스텍

 

 

 

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이번 수리품 제조사는

DYNAMIC AUTOMATED SYSTEMS(DAS)이고

MG45 IDE ROBOT이라고도 합니다

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ROB 300 SERIES이며

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현재 이 로봇은 반도체 장비에 웨이퍼 이송용 로봇으로 사용되고 있습니다.

국내 반도체 관련 업체에서 수리가 들어왔습니다

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<입고>

로봇 외관, 명판

 

이 로봇을 점검을 해봤을 때

축이 3축이 있습니다

Z축, R축, 회전축 3가지로 분류가 됩니다

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DC 모터로 구성되어 있으며 내부에 카본브러쉬가 불량으로 모터 내부를 오염시켰습니다

엔코더도 특이하게도 앱솔루트가 아니고 인크리멘탈 타입을 사용하고 있습니다

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<증상 확인>

 

구동 시도를 할 때 메시지 창에서 R T축 에러를 발생하면서 제대로 구동되지 않는 불량을 확인할 수 있었습니다.

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기구 쪽도 문제가 있어 기구부 쪽도 수리를 하였고

모터 쪽에는 R축, Z축, 세타축 전부 수리하였습니다

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<수리 - 기구부>

 

통상적으로 로봇이 있으면 컨트롤러가 분리형으로 이루어져 있는데

IDE 로봇 같은 경우에는 일체형으로 이루어져 있습니다

상단 로봇 기구부쪽에는 LM, 볼스크류, 모터들, 타이밍벨트류 이루어져 있고

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<수리 - 보드>

 

보드는 3층으로 이루어져 있는데

1층은 모션에 관련된 보드 MCU를 탑재하고 있고

2층에는 인터페이스

3층은 IPM 모듈 즉, 모터의 구동전압을 스위칭을 해주는 모듈이 탑재 되어있습니다

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<수리 - 모터 엔코더>

저희들이 부품 하나하나마다 다 찍어보고 수리를 진행을 했고요.

 

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저희 쪽에서는 ROB-300 전용으로 재현성 테스트를 할 수 있게끔 티칭 데이터를 집어넣어서 반복 구동 테스트를 진행할 수 있습니다

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이 로봇 같은 경우에는 현장에서 설치했다가 에러가 발생되어 탈착하기 상당히 힘든 부분이 있어서 하루 이틀 정도 티칭 데이터를 넣어서 구동 재현성이 나타나는지 충분히 테스트를 합니다

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몇 차례 고객사에 납품했는데 현재까지는 문제는 발생되지 않았고 수리는 잘 진행되었다고 판단이 됩니다

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동영상을 보시면 구동 테스트, 재현성 테스트를 확인할 수 있습니다.

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마침 다른 곳에서 수리를 맡겨주신 로봇이 있어서 같이 구동시켜보았습니다.

로봇의 스펙이 달라서 이쪽의 경우에는 다음 동작으로 넘어가는데 딜레이가 좀 있습니다.

 

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