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JEL/ROBOT

젤반도체로봇수리 JEL ROBOT DTVHR4275-050-PM-05872

by 서보시스텍 2023. 4. 10.
산업용장비 로봇 서보 수리 및 판매 전문기업
서보시스텍

 

 

 

 


 

안녕하세유

이번에 입고된 수리품은 JEL 젤 로봇입니다

이 로봇도 반도체 쪽에 사용되는 로봇입니다

<입고>

 

보시다시피 사이즈가 LCD 장비에 비해서는 콤팩트합니다

로봇은 두 가지로 나눠지는데 대기에서 움직이는 대기 로봇, 진공상태에서 움직이는 진공로봇이 있습니다

이 로봇은 진공 로봇입니다

<로봇 암 분해>

암을 다 분해를 하고 각각 구동 유닛 쪽도 확인을 했습니다

<로봇 암 베어링 불량>

암 관절 부분에서 베어링 구리스가 열화가 되고 베어링이 FAIL이 된 게 확인이 되었고요

<로봇 모터>

젤 로봇의 구형 타입은 아이러니하게도 일반 서보모터가 아니라 스텝 모터가 장착되어 있습니다

모터를 한 축씩 테스트를 해봤고요

스텝 드라이버를 사용하여 피드백 확인을 바로 할 수 없어 별도로 니콘 엔코더가 장착되어 확인 가능합니다

<로봇 내부 LM>

LM 쪽은 플레이크가 상당히 심각하고 도 상태가 안 좋아서 전체 오버홀하며 교체 진행 하였습니다

<로봇 진공 테스트>

 

진공로봇이다 보니 회전축에 대해서 진공이고 로봇은 대기 상태입니다

그러면 이 로봇은 차폐가 되어 있어야 합니다

차폐가 되려면 '자성유체씰'이라는 유닛을 포함하고 있습니다

마그네틱 실이라고도 하는데요

대기와 진공이랑 차폐를 시켜주는 역할을 하는 유닛입니다

이 부분도 일부 문제가 확인돼서 자성유체씰을 수리 진행하였고요

진공 압력 테스트가 가능합니다

압력 테스트를 할 때는 헬륨 디텍터를 사용하여 미세하게 리크나는 부분까지도 검사를 다 합니다

검사해 본 결과 리크가 발생되어 자성유체씰을 오버홀 작업하였고요

전체적으로 암 관절부 구동 유닛 쪽 오버홀하며 진공 구리스로 구리스업 작업을 다 진행하였습니다

 

<완료>

 

자체적으로 개발한 컨트롤러구동 테스트를 해봤는데 자연스럽게 돌아가는 것을 확인하였습니다

 


🤖 테스트 영상 🤖

 

 


 

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