노후화된 히라타 로봇 수리하고 테스트하기HIRATA ROBOT AR-W200VCL-3-S-350

 

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서보시스텍

 

 

 

 

<입고>

 

이번에 수리한 로봇은 일본 HIRATA 사에서 만든 AR-W200 시리즈 로봇입니다

일반적인 대기 상태에서 웨이퍼를 반송하는 게 아니라 진공 상태에서 진공 챔버 안에서 웨이퍼를 반송합니다

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<전체 분해>

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내부를 분해해서 확인해 본 결과

암의 관절 쪽 크로스 롤러, 구동 유닛에 문제가 있었고요

두 번째 문제는 Z축 모터가 문제가 있어 수리하였습니다

그리고 이 로봇은 진공에 사용하다 보니 마그네씰이 있습니다

자성유체씰이라고도 합니다

테스트해 보니 일부 문제가 있어 오버홀 진행을 하였습니다

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<교체부품>

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자체적으로 보유하고 있는 진공도 측정하는 장비 헬륨 디텍터가 있습니다

대기와 진공이 차폐가 잘 되는지 확인했을 때 진공도가 파괴되지 않는 것을 확인하였고

로봇 암에 수평도, 직진도 확인하였고

재연성이 나타나는지 이상 없는지 확인하였습니다​

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<헬륨 디텍터 진공 테스트>

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하루 정도 러닝 테스트를 합니다

현장에 로봇을 장착했을 때 아무 문제 없게끔 하기 위해

이 로봇이 설치되어 있는 장소가 대기 상태의 장소가 아닌 진공 챔버 안에서 사용하기 때문에

넣었다 뺐다 하는 게 많이 힘듭니다

그것을 방지하기 위해 러닝 테스트 시 장시간으로 충분한 테스트 시간을 거친 후 완료하고 있습니다

 

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🤖 테스트 영상 🤖

 

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